6英寸是多少厘米,4&6寸硅片为啥子要留平边 6英寸是多少厘米的盘子
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知识星球(星球名:芯片制造与封测社区,星球号:63559049)中的学员问:2,4,6寸硅片皆有平边,动物有做多少人是起到?
硅片的平边(Flat)是做多少人是?
Flat也就能被又称定位边。2,4,6寸硅片可能贯穿圆形,并非被切掉了中的缺角。用游戏下载大全中文版下载CZ法拉出硅锭后,还未被切割成一片片硅片前,可能会晶向被根据,可能会用金刚锯在晶锭上切割出中的或多个平边。可能硅片有1-2个定位边,长的定位边在晶圆底部,短的定位边最佳位置不固定,跟随晶向与掺杂类型再次变化中中。
定位边最佳位置与晶向的关糸?
硅片的晶向一般说来为三种:<111><110><100>。当主定位边与次定位边夹角为45°时,硅片类型为n型<111>;当主定位边与次定位边夹角为90°时,硅片类型为p型<100>;当主定位边与次定位边夹角为180°时,硅片类型为n型<100>。可能<110>晶向,可能主流的硅片晶向,可能可能中的新标准 来直言,就能参照 硅片供应商可能的新标准 来直言<110>晶向。
主定位边与次定位边的长度是固定的吗?
是的,可能要匹配半导体制造设备,可能主,主次定位边的长度和最佳位置皆有固定的。
一般说来2inch的主定位边长度为15.8mm,4inch硅片主定位边长度为32.5mm,6inch硅片主定位边为57.5mm。4英寸硅片次定位平边的长度约为18 mm,6英寸硅片次定位平边的长度约为22 mm。
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